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國(guó)內(nèi)壓力傳感器技能介紹
點(diǎn)擊次數(shù)：1135 更新時(shí)間：2015-08-13
國(guó)內(nèi)壓力傳感器技能介紹 |
上海五久自動(dòng)化 |
| 壓力傳感器是指將壓力轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出的傳感器。壓力傳感器通常由彈性靈敏元件和位移靈敏元件（或應(yīng)變計(jì)）組成。彈性靈敏元件的作用是使被測(cè)壓力作用于某個(gè)面積上并轉(zhuǎn)換為位移或應(yīng)變，然后由位移靈敏元件或應(yīng)變計(jì)轉(zhuǎn)換為與壓力成必定關(guān)系的電信號(hào)。有時(shí)把這兩種元件的功用集于一體。壓力傳感器廣泛使用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑、出產(chǎn)自控、、石化、油井、電力、船只、機(jī)床、管道等很多職業(yè)。 力學(xué)傳感器的種類繁復(fù)，但常用的壓力傳感器有電阻應(yīng)變片壓力傳感器、半導(dǎo)體應(yīng)變片壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、電感式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳感器及電容式加速度傳感器等。使用的是壓阻式壓力傳感器，它具有極低的價(jià)格和較高的精度以及較好的線性特性。 中國(guó)壓力傳感器商場(chǎng)主要是工業(yè)自動(dòng)化操控范疇，和汽車范疇。在工控范疇里目前中國(guó)絕大部份選用分散硅壓力傳感器、應(yīng)變片式壓力傳感器和濺射薄膜壓力傳感器，而國(guó)內(nèi)廠家出產(chǎn)面廣量大的即是分散硅壓力傳感器。在國(guó)內(nèi)，西安市是中國(guó)笫二個(gè)五年計(jì)劃里要點(diǎn)開展壓力系列傳感器的主要城市，陜西寶雞市在省會(huì)城市西安的股動(dòng)下，由原秦嶺晶體管廠進(jìn)行技能改造，和美國(guó)霍尼偉爾公司合作成立麥克傳感器公司，為中國(guó)分散硅壓力傳感器出產(chǎn)創(chuàng)始了先河。但MEMS技能和前道硅片制作技能仍操控在外國(guó)廠家手里。 國(guó)內(nèi)從事硅電容壓力傳感器的研討可以說(shuō)是剛剛起步。雖然國(guó)內(nèi)已經(jīng)有單位研發(fā)出了硅電容傳感器，它的精度和靜壓特性已挨近富士公司商品的平均水平，但在長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定性方面，距離較大。一起，國(guó)內(nèi)的電容傳感器在高差壓和微差壓標(biāo)準(zhǔn)的開發(fā)上仍有較大距離。國(guó)外壓阻式傳感器精度可以達(dá)到0.075%，而國(guó)內(nèi)研發(fā)的壓阻式傳感器的精度只要0.1%。在長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定功能上，國(guó)產(chǎn)傳感器和進(jìn)口傳感器的距離更為顯著。國(guó)產(chǎn)商品長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定性的指標(biāo)為0.1%/年，比國(guó)外商品zui少高2倍。別的，國(guó)產(chǎn)商品的溫度特性差。與國(guó)外商品比較，溫度漂移比國(guó)外商品的典型值大50%～100%。此外，國(guó)產(chǎn)商品的標(biāo)準(zhǔn)種類不夠全，在微差壓和高差壓、高靜壓標(biāo)準(zhǔn)方面沒(méi)有成熟的商品，不能滿意某些技術(shù)的特殊要求。 壓力傳感器的國(guó)產(chǎn)化疑問(wèn)的要害主要是怎么進(jìn)步傳感器的長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定性。傳感器的長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定性和傳感器的資料選擇、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、加工技術(shù)密切有關(guān)。中國(guó)在MEMS加工技術(shù)上還處于相對(duì)落后期間，進(jìn)步技術(shù)水平無(wú)疑是進(jìn)步傳感器功能的久遠(yuǎn)之計(jì)。 目前，國(guó)內(nèi)有關(guān)高校和科研院所對(duì)壓阻式和電容式MEMS傳感器進(jìn)行了很多的研討，在理論和技術(shù)水平上都取得了一些效果。就當(dāng)前技術(shù)水平而言，假如可以實(shí)現(xiàn)某種方式的抵償或許在線的自標(biāo)定方法，則有可能在短期內(nèi)進(jìn)步傳感器的長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定性，使國(guó)產(chǎn)傳感器在穩(wěn)定性指標(biāo)上滿意石化職業(yè)需要。 |
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